Anwendung für die EtherCAT-Bus-Antriebssteuerung in der Halbleiterindustrie, integrierter Drehteller

Die Herstellung monokristalliner Siliziumwafer ist ein wichtiger Bestandteil der Halbleiterfertigung. Nach dem Schneiden, Anfasen, Schleifen, der Oberflächenbehandlung, dem Polieren, der Epitaxie und anderen Prozessschritten ist die Oberfläche stark verunreinigt. Daher ist die Reinigung ein entscheidender Prozessschritt, der die Entfernung von Oberflächenpartikeln, Metallionen und organischen Verunreinigungen zum Ziel hat.

Für den Herstellungs- und Reinigungsprozess von monokristallinen Siliziumwafern schlug Kaifu Technology das integrierte SSDC-System vor. EtherCAT Busantrieb + integrierter Drehteller der YKW-Serie. Er zeichnet sich durch geringe Größe, stabile Drehzahlregelung usw. aus.

Prozessablaufdiagramm

Fallpräsentation

Programmvorteil

Die Antriebssteuereinheit ist kleiner

Stabilere Geschwindigkeit