مراحل XYZ با دقت بالا و پلتفرم فوق العاده بزرگ Kaifull
با افزایش سریع تحقیقات در مقیاس نانو و تولید هوشمند، سیستمهای حرکتی چند محوره - به ویژه مرحله انتقال XYZ - در بازرسی و کنترل با دقت بالا ضروری شدهاند. اتوماسیوناز میکروسکوپی خودکار گرفته تا بازرسی با بینایی ماشین و میکرورباتیک، مرحله XYZ سه درجه آزادی خطی با دقت زیر میکرون ارائه میدهد که امکان موقعیتیابی تکرارپذیر، اسکن روان و گردش کار کاملاً خودکار را فراهم میکند.
دقت در میکروسکوپی خودکار و تصویربرداری ماشین بینایی
در بازرسی میکروسکوپی خودکاریک صفحه XYZ نمونهها را با وضوح نانومتری زیر لنز شیئی حرکت میدهد. انکودرهای با وضوح بالا، بازخورد حلقه بسته ارائه میدهند و به صفحه اجازه میدهند تا بدون دخالت اپراتور، فوکوس سریع و اسکن کاشیها را انجام دهد. این حرکت یکپارچه نه تنها باعث ایجاد تصاویر با کیفیت بالا و چند فوکوس میشود، بلکه نتایج ثابتی را در مناطق بزرگ نمونه تضمین میکند - که برای اسکن اسلاید هیستوپاتولوژی و بازرسی ویفر نیمههادی حیاتی است.
در خطوط تولید با استفاده از دوربینهای ماشین بیناییمرحله XYZ به عنوان ستون فقرات ترازبندی دقیق عمل میکند. با تبدیل نمونهها یا اپتیکها در X، Y و Z، تضمین میکند که دوربینها، نورپردازی و قطعات کار کاملاً هماهنگ باشند. نتیجه، بهبود تکرارپذیری تشخیص نقص و دقت اندازهگیری برای کاربردهایی از مونتاژ میکروالکترونیک گرفته تا تأیید قطعات ماشینکاری دقیق است.
سفارشیسازی متناسب برای کاربردهای متنوع
امروزه استیجهای XYZ به هیچ وجه برای همه یکسان نیستند. تولیدکنندگان طیف وسیعی از استیجها را ارائه میدهند. گزینههای سفارشیسازی برای مطابقت با خواستههای خاص برنامه:
-
محدوده سفر و ظرفیت بار
-
سفرهای فوق کوتاه (دهها تا صدها میکرون) برای موقعیتیابی نانو یا اسکن AFM
-
سفرهای طولانی (دهها تا صدها میلیمتر) برای ترازبندی اپتیکی و اسکن ناحیه بزرگ
-
رتبهبندیهای بار مفید از چند صد گرم تا چند تن متغیر است
-
-
یکپارچهسازی کنترلر و رابط
-
داخلی اترکت، پروفینت، یا مبتنی بر USB رابطهای اتوبوس بلادرنگ
-
اختیاری کنترلکنندههای حرکتی همهکاره که سیمکشی را ساده کرده و راهاندازی سیستم را تسریع میکند
-
کیتهای نصب پایه گرانیتی که ارتعاشات را کاهش داده و سختی دینامیکی را افزایش میدهند
-
-
ترازبندی مکانیکی و تنظیم دقیق
-
یکپارچه تنظیم کننده های میکرومتر، شیمها و مکانیابهای پین-رول برای ترازبندی سریع و دقیق
-
اختیاری کالیبراسیون تداخلسنج لیزری برای جبران خطای درجا تا ±100 نانومتر
-
ادغام یکپارچه: پلتفرم ترازبندی فوق العاده بزرگ کایفول
جدیدترین محصول کایفول، پلی بین دقت بالا و عملکرد سنگین YK‑XXY200170P‑5‑32105 این پلتفرم نشان میدهد که چگونه مراحل بزرگ میتوانند کنترل سطح میکرون را حفظ کنند. این پلتفرم که برای اپتیکهای بزرگ و بارهای سنگین طراحی شده است، دارای ویژگیهای زیر است:
-
ردپا: 2000 میلیمتر × 1700 میلیمتر
-
ارتفاع Z: ۳۳۰ میلیمتر
-
تکرارپذیری: ±۳ میکرومتر
-
محدوده سفر: ±۹۰ میلیمتر
-
چرخش: ±6 درجه
-
پیچقطر: Ø32 میلیمتر، نوک 10 میلیمتر
-
راهنماریلهای غلتکی عرضی
-
مسطح بودن/موازی بودن: 0.5 میلیمتر / 0.2 میلیمتر
-
ظرفیت بار: ۳۰۰۰ کیلوگرم نیرو به صورت افقی
-
ساخت و سازقاب آلیاژ آلومینیوم، روکش مشکی آنودایز شده
-
وزن: ۲۴۰۰ کیلوگرم ±۲٪
-
رانندگیموتور AZM98AC-HS50 با درایور 5 فاز Oriental و انکودر SL-205NA-W (Meiji)
با ترکیب همان اصول طراحی ماژولار - حرکت سفارشی، رابطهای کنترل قوی و ویژگیهای تنظیم دقیق - کایفول تضمین میکند که حتی این صحنه فوقالعاده بزرگ نیز به راحتی با سیستمهای اتوماسیون موجود هماهنگ میشود، چه روی پایههای گرانیتی برای میرایی ارتعاش نصب شده باشد و چه برای حرکت چند محوره هماهنگ، از طریق EtherCAT کنترل شود.
انواع قطعات و نکات برجسته کاربرد
| نوع کامپوننت | ویژگیهای کلیدی | موارد استفاده ایدهآل |
|---|---|---|
| مراحل یاتاقان هوایی | بدون اصطکاک، بدون لقی، حرکت فوقالعاده روان؛ تکرارپذیری ±0.1 میکرومتر | میکروسکوپ نیروی اتمی، ترازبندی اپتیکی فوق دقیق، آزمایش نانو ارتعاش |
| مراحل یاتاقان مکانیکی | ظرفیت بار قوی، نیاز به نگهداری کم، مقرون به صرفه | برداشتن و گذاشتن با سرعت بالا، مونتاژ مکانیکی، موقعیتیابی دقیق در سلولهای نوری |
| مراحل محرک پیزوالکتریک | پهنای باند محدوده کیلوهرتز، وضوح گام در سطح نانومتر | میکروسکوپ اسکن خطی کانفوکال، آزمایش مواد دینامیکی، حذف فعال ارتعاش |
| مراحل هدایتشده با خمش | بدون سایش، بدون لقی، سفتی بالا، مسیر حرکت روان | خطوط منحنی تکرارپذیر، سکوهای بازرسی مینیاتوری، ترازبندی دقیق چاپ سهبعدی |
محصولات تکمیلی و منابع پشتیبانی
راهکارهای کامل اتوماسیون اغلب فراتر از خودِ مرحله (یا صحنه) گسترش مییابند:
-
فیکسچرهای چند ایستگاهی و تعویض کنندههای خودکار برای جابجایی نمونه با توان عملیاتی بالا
-
ماژولهای تخصصی نورپردازی و اپتیک که مستقیماً به واگنهای صحنه وصل میشوند
-
SDKها و کد نمونه در زبانهای C/C++، LabVIEW و پایتون برای برنامهریزی مسیر و هماهنگسازی محورها
-
مستندات فنی و پشتیبانی از راه دور پوشش نصب، کالیبراسیون و تنظیم پاسخ پویا
-
خدمات مهندسی سفارشی برای طراحی مکانیکی خاص کاربرد، تحلیل المان محدود و توسعه میانافزار
چشمانداز: هدایت موج بعدی اتوماسیون دقیق
همزمان با همگرایی بازرسی مبتنی بر هوش مصنوعی، تولید هوشمند مبتنی بر 5G و تحقیقات مواد پیشرفته، مراحل XYZ قابل انطباق همچنان محور اتوماسیون دقیق خواهند بود. چه در میکرو رباتیک، ساخت نوری، بازرسی نیمه هادی یا خطوط تولید انعطاف پذیر، مراحلی مانند YK-XXY200170P-5-32105 کایفول، نمونهای از تلفیق مقیاس، استحکام و کنترل در سطح میکرون هستند که برای تأمین انرژی پیشرفتهای فردا مورد نیاز است.







دنیل.دینگ
دینگ









