Application de plateau tournant intégré pour la commande de bus EtherCAT dans l'industrie des semi-conducteurs

La fabrication des plaquettes de silicium monocristallin est une étape essentielle du processus de production des semi-conducteurs. Après le découpage, le chanfreinage, le meulage, le traitement de surface, le polissage, l'épitaxie et d'autres procédés, la surface est fortement polluée. Le nettoyage constitue donc une étape cruciale, visant à éliminer les particules, les ions métalliques et les matières organiques présents en surface.

Pour le processus de fabrication et de nettoyage des plaquettes de silicium monocristallin, Kaifu Technology a proposé le SSDC intégré EtherCAT Le système de traction de bus est associé à une plaque tournante intégrée de la série YKW. Il se caractérise par une taille réduite, une vitesse stable, etc.

Diagramme de flux de processus

Présentation de cas

Avantages du programme

L'unité de commande du variateur est plus petite

vitesse plus stable