Applicazione di giradischi integrata con controllo di azionamento bus EtherCAT per l'industria dei semiconduttori

Essendo una parte importante del processo di produzione dei semiconduttori, il processo di produzione dei wafer di silicio monocristallino è particolarmente importante. Dopo il taglio, la smussatura, la rettifica, il trattamento superficiale, la lucidatura, l'epitassia e altri processi, la superficie è stata seriamente contaminata, quindi un passaggio molto importante del processo è la pulizia, il cui scopo è rimuovere particelle superficiali, ioni metallici e contaminanti organici.

Per il processo di produzione e pulizia dei wafer di silicio monocristallino, Kaifu Technology ha proposto l'integrazione SSDC EtherCAT Driver di autobus + giradischi integrato serie YKW. Presenta le seguenti caratteristiche: dimensioni ridotte, fluttuazione di velocità stabile e così via.

Diagramma di flusso del processo

Presentazione del caso

Vantaggio del programma

L'unità di controllo dell'azionamento è più piccola

Velocità più stabile