太陽光発電

CCD自動アライメント露光機において、フォトマスクを基板に正確に露光するには、アライメント精度が極めて重要です。YK-XXY200PL-S1-1255プラットフォームは、高精度なアライメントを実現するために不可欠な±3μmの繰り返し位置決め精度を実現します。この精度により、各露光サイクルで一貫したアライメントが確保され、エラーが低減され、露光プロセス全体の品質が向上します。±10mmのストロークと±5.5°の回転角度は、様々な基板サイズや形状に対応できる柔軟性を提供し、様々な生産シナリオにおいて多様なアプリケーションを実現します。

アライメントプラットフォームの安定性は露光品質に直接影響します。YK-XXY200PL-S1-1255プラットフォームは、自社製の一体型ベアリング鋼製スライドブロックを搭載し、安定性を向上させ、機械振動を低減します。±0.025mmの平面度と±0.03mmの運動平行度を実現し、アライメントプロセスにおけるスムーズで正確な動きを保証します。この高い機械的安定性は、アライメント誤差を最小限に抑え、露光機の信頼性向上に貢献します。

CCD自動アライメント露光のような高負荷環境においては、プラットフォームは性能を維持しながら大きな荷重に耐えなければなりません。YK-XXY200PL-S1-1255プラットフォームは最大30kgの水平荷重に対応し、様々な種類のフォトマスクや基板に適しています。アルミニウム合金製で、黒色アルマイト処理が施されたこのプラットフォームは、耐久性だけでなく、耐腐食性と耐摩耗性にも優れており、過酷な環境下でも長期的な信頼性を確保します。

アライメントと露光プロセスを正確に制御するために、プラットフォームにはInovance 100Wモーター（お客様提供）とSL-205NA-Wセンサー（AKUSENSE）が統合されています。モーターは正確でスムーズな調整を可能にし、センサーはプラットフォームの位置に関するリアルタイムフィードバックを提供します。この組み合わせにより、CCDシステムはセンサーデータに基づいて自動補正を行い、正確なアライメントを確保し、露光エラーの可能性を低減します。CS-19X20.7-8X6カップリングは、コンポーネント間の効率的な電力伝達を確保することで、システムの信頼性をさらに高めます。