半導体産業 EtherCATバス駆動制御統合ターンテーブルアプリケーション

半導体製造プロセスの重要な部分として、単結晶シリコンウェーハの製造プロセスは特に重要です。スライス、面取り、研削、表面処理、研磨、エピタキシーなどの様々な工程を経た後、表面は深刻な汚染を受けます。そのため、表面の粒子、金属イオン、有機物による汚染を除去するために、洗浄という非常に重要なプロセスセグメントが存在します。

単結晶シリコンウエハの製造および洗浄工程において、カイフテクノロジーはSSDC統合を提案した。 イーサキャット バスドライバーとYKWシリーズターンテーブルを一体化した製品です。小型化、安定した速度変動などの特長を備えています。

プロセスフローチャート

症例紹介

プログラムの利点

駆動制御ユニットは小型化

より安定した速度