태양광

CCD 자동 정렬 노광기에서 포토마스크를 기판에 정확하게 노광하려면 정렬 정밀도가 매우 중요합니다. YK-XXY200PL-S1-1255 플랫폼은 ±3μm의 반복 위치 정밀도를 제공하여 고정밀 정렬을 구현하는 데 필수적입니다. 이러한 정밀도는 각 노광 주기마다 일관된 정렬을 보장하여 오류를 줄이고 노광 공정의 전반적인 품질을 향상시킵니다. 또한, 플랫폼의 ±10mm 스트로크와 ±5.5° 회전 각도는 다양한 기판 크기와 형상에 맞춰 유연하게 적용할 수 있도록 해주어 다양한 생산 환경에서 활용 가능합니다.

정렬 플랫폼의 안정성은 노광 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. YK-XXY200PL-S1-1255 플랫폼은 자체 제작한 일체형 베어링 강 슬라이딩 블록을 적용하여 안정성을 향상시키고 기계적 진동을 줄였습니다. ±0.025mm의 평탄도와 ±0.03mm의 운동 평행도를 통해 정렬 과정에서 부드럽고 정확한 움직임을 보장합니다. 이러한 높은 수준의 기계적 안정성은 정렬 오류를 최소화하고 노광 장비의 신뢰성을 높이는 데 기여합니다.

CCD 자동 정렬 노광과 같은 고강도 작업 환경에서는 플랫폼이 상당한 하중을 견디면서도 뛰어난 성능을 유지해야 합니다. YK-XXY200PL-S1-1255 플랫폼은 최대 30kg의 수평 하중을 지원하여 다양한 종류의 포토마스크 및 기판에 적합합니다. 알루미늄 합금으로 제작되고 흑색 아노다이징 처리된 이 플랫폼은 내구성이 뛰어날 뿐만 아니라 부식 및 마모에 강하여 까다로운 환경에서도 장기간 안정적인 성능을 보장합니다.

정렬 및 노출 과정의 정밀한 제어를 위해 플랫폼에는 Inovance 100W 모터(고객 제공)와 SL-205NA-W 센서(AKUSENSE)가 통합되어 있습니다. 모터는 정확하고 부드러운 조정을 가능하게 하며, 센서는 플랫폼의 위치에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 이러한 조합을 통해 CCD 시스템은 센서 데이터를 기반으로 자동 보정을 수행하여 정밀한 정렬을 보장하고 노출 오류 발생 가능성을 줄입니다. CS-19X20.7-8X6 커플링은 구성 요소 간 효율적인 전력 전달을 보장하여 시스템의 신뢰성을 더욱 향상시킵니다.