반도체 산업용 EtherCAT 버스 드라이브 제어 통합 턴테이블 애플리케이션

반도체 제조 공정에서 중요한 부분인 단결정 실리콘 웨이퍼 제조 공정은 특히 중요합니다. 절단, 모따기, 연삭, 표면 처리, 연마, 에피택시 등의 다양한 공정을 거치면서 표면이 심하게 오염되기 때문에 세척 공정은 매우 중요한 단계입니다. 세척 공정의 목적은 표면의 입자, 금속 이온 및 유기물 오염 물질을 제거하는 것입니다.

카이푸 테크놀로지는 단결정 실리콘 웨이퍼의 제조 및 세척 공정을 위해 SSDC 통합 시스템을 제안했습니다. 이더캣 버스 운전석과 YKW 시리즈 일체형 턴테이블이 결합된 제품입니다. 크기가 작고 속도 변동이 안정적이라는 특징이 있습니다.

프로세스 흐름도

사례 발표

프로그램 장점

구동 제어 장치는 더 작습니다.

더욱 안정적인 속도