Применение в полупроводниковой промышленности: управление приводом по шине EtherCAT, интегрированный поворотный стол

Производство монокристаллических кремниевых пластин является важной частью процесса изготовления полупроводников. После нарезки, снятия фаски, шлифовки, обработки поверхности, полировки, эпитаксии и других процессов поверхность сильно загрязняется, поэтому очень важным этапом является очистка, цель которой – удаление поверхностных частиц, ионов металлов и органических загрязнений.

Для процесса производства и очистки монокристаллических кремниевых пластин компания Kaifu Technology предложила интегрированную систему SSDC. EtherCAT Интегрированный поворотный стол серии YKW с приводом от автобуса. Он отличается компактными размерами, стабильными колебаниями скорости и т.д.

Блок-схема процесса

Презентация кейса

Преимущество программы

Блок управления приводом меньше по размеру.

Более стабильная скорость