Yarı iletken endüstrisi EtherCAT veri yolu sürücü kontrolü entegre döner tabla uygulaması

Yarı iletken üretim sürecinin önemli bir parçası olarak, monokristal silikon levha üretim süreci özellikle önemlidir. Dilimleme, pah kırma, taşlama, yüzey işleme, parlatma, epitaksi ve diğer farklı işlemlerden sonra yüzey ciddi şekilde kirlenir; bu nedenle çok önemli bir işlem aşaması olan temizleme, yüzeydeki parçacıkları, metal iyonlarını ve organik madde kirliliğini gidermeyi amaçlar.

Kaifu Technology, monokristal silikon levhaların üretim ve temizleme süreçleri için SSDC entegre çözümünü önerdi. EtherCAT Otobüs şoförü + YKW serisi entegre döner platform. Daha küçük boyut, istikrarlı hız dalgalanması gibi özelliklere sahiptir.

Süreç akış şeması

Vaka sunumu

Program avantajı

Sürücü kontrol ünitesi daha küçüktür.

Daha istikrarlı hız