Ứng dụng bàn xoay tích hợp điều khiển truyền động bus EtherCAT trong ngành công nghiệp bán dẫn

Là một phần quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, quy trình sản xuất tấm wafer silicon đơn tinh thể đặc biệt quan trọng. Sau các công đoạn cắt, vát cạnh, mài, xử lý bề mặt, đánh bóng, epitaxy và các quy trình khác nhau, bề mặt bị ô nhiễm nghiêm trọng, vì vậy có một công đoạn rất quan trọng là làm sạch, mục đích của nó là loại bỏ các hạt trên bề mặt, các ion kim loại và các chất ô nhiễm hữu cơ.

Để phục vụ cho quy trình sản xuất và làm sạch các tấm wafer silicon đơn tinh thể, Kaifu Technology đã đề xuất hệ thống SSDC tích hợp. EtherCAT Bộ điều khiển xe buýt + bàn xoay tích hợp dòng YKW. Nó có các đặc điểm như kích thước nhỏ gọn, dao động tốc độ ổn định, v.v.

Sơ đồ quy trình

Trình bày ca bệnh

Ưu điểm của chương trình

Bộ điều khiển truyền động nhỏ hơn

Tốc độ ổn định hơn