半導體產業 EtherCAT 總線驅動控制整合式轉盤應用

作為半導體製造製程的重要組成部分，單晶矽晶片製造製程尤其重要。經過切割、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等多種工序後，晶片表面往往受到嚴重污染，因此清洗工序至關重要，其目的是去除表面顆粒、金屬離子和有機物等污染物。

針對單晶矽晶片的製造和清洗工藝，開福科技提出了SSDC整合方案。 乙太網路 公車司機+YKW系列一體式轉盤。它具有體積小、速度波動穩定等特性。

流程圖

病例介紹

專案優勢

驅動控制單元尺寸更小。

速度更穩定